MEMS (microelectromechanical systems, mikro-elektromehanski sistemi)1 tehnologija je zgrajena na temeljni tehnološki infrastrukturi, ki so jo razvili za silicijeva integrirana vezja.
Mikromehanična zgradba znotraj čipa je bila oblikovana z jedkanjem določenih vzorcev na silicijevo podlago in sestavlja elemente senzorjev ali mehanskih stikal, ki se lahko premikajo samo delčke mikronov. Tlačni senzorji, ki so bili ena od prvih množičnih MEMS aplikacij v tem trenutku spremljajo pritiske v več sto milijonih avtomobilskih motorjev in pnevmatikah, MEMS merilniki pospeškov pa se že več kot 15 let uporabljajo za proženje zračnih blazin, zaznavanje prevračanja vozila in v avtomobilskih alarmnih sistemih.
MEMS merilniki pospeška2 se uporabljajo tudi za zaznavanje gibanja v aplikacijah široke porabe, kot so video igre in mobilni telefoni. MEMS micromirror optični aktuatorji se uporabljajo v grafoskopih, v HDTV in pri digitalnih gledaliških predstavitvah. V zadnjih letih so se začeli širiti MEMS mikrofoni3 na široke trge potrošnikov, vključno z mobilnimi telefoni, Bluetooth slušalkami, osebnimi računalniki in digitalnimi fotoaparati.
Uporaba MEMS merilnikov pospeška za akustične odjemalce zvoka (pick-up) pri glasbenih inštrumentih 2010_SE173_33 Avtorji: Rob O’Reilly, Alex Khenkin, Kieran Harney www.analog.com
